Độ chính xác gia công của máy công cụ máy cắt kim loại CNC đã được cải thiện từ mức dây ban đầu (0,01mm) lên mức micron (0,001mm), và một số loại đã đạt khoảng 0,05μm. Đối với việc-cắt và mài vi mô của máy công cụ CNC có độ chính xác-siêu chính xác, độ chính xác có thể ổn định khoảng 0,05μm và độ chính xác hình dạng có thể đạt khoảng 0,01μm. Độ chính xác của quá trình xử lý đặc biệt sử dụng ánh sáng, điện, hóa chất và các nguồn năng lượng khác có thể đạt tới mức nanomet (0,001μm). Thông qua việc tối ưu hóa thiết kế cấu trúc máy công cụ, quá trình lắp ráp các bộ phận máy công cụ có độ chính xác và độ hoàn thiện cực cao, việc sử dụng điều khiển vòng lặp kín-có độ chính xác cao và công nghệ bù lỗi động như nhiệt độ và độ rung, độ chính xác hình học của quá trình xử lý máy công cụ được cải thiện, đồng thời giảm lỗi hình dạng và vị trí, độ nhám bề mặt, v.v. , để bước vào kỷ nguyên hoàn thiện ở quy mô nhỏ-micron và nano-siêu{19}}.
